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光学微电子净化工程一般包括哪些净化区?

作者:光学微电子净化工程 来源:易纯净化 日期:2019/12/5 8:34:30

光学微电子净化区一般包括:

1、洁净生产区

2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)

4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

光学微电子净化原理为:

气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌

等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。


来源:http://www.ycjhsb.com

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